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高纯氢
| 项目名称 |
指标 |
| 纯氢 |
高纯氢 |
超纯氢 |
| 氢气（H2）纯度（体积分数）/10-2 ≥ |
99.99 |
99.999 |
99.9999 |
| 氧（O2）含量（体积分数）/10-4 ≤ |
5 |
1 |
0.2 |
| 氩（Ar）含量（体积分数）/10-4 ≤ |
供需商定 |
供需商定 |
| 氮（N2）含量（体积分数）/10-4 ≤ |
60 |
5 |
0.4 |
| 一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-4 ≤ |
5 |
1 |
0.1 |
| 二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-4 ≤ |
5 |
1 |
0.1 |
| 甲烷（CH4）含量（体积分数）/10-4 ≤ |
10 |
1 |
0.2 |
| 水分（H2O）含量（体积分数）/10-4 ≤ |
10 |
3 |
0.5 |
| 杂志总含量（体积分数）/10-4 ≤ |
- |
10 |
1 |
供应方式：
1、 长管车供应
2、 钢瓶供应
3、 大型管道供应
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